In hochmodernen Bereichen wie Nano-Detektion, Bildverarbeitungsmessung, Halbleiterdefektinspektion und optischer Interferometrie bestimmt die Referenzebene von Inspektionsplattformen direkt die Glaubwürdigkeit der Daten für das gesamte Messsystem. Da die Präzisionsfertigung in Richtung Submikron- und Nanometerbereich voranschreitet, können Steinplattformen, die mit konventionellen Techniken verarbeitet werden, den Anforderungen von High-End-Labortests und Massenproduktionsinspektionen nicht mehr genügen. Viele Gerätehersteller haben festgestellt, dass es auch bei der Ausstattung mit Premium-Messsensoren immer wieder zu systematischen Messfehlern kommt, wenn die Referenzebene der Tragplattform abweicht. Dementsprechend ist der Bau von Granitinspektionsplattformen mit einer Ebenheit im Nanometerbereich zu einem wichtigen Forschungsthema für zahlreiche Unternehmen für Präzisionsinspektionsgeräte geworden.
Eine extrem hohe Ebenheitsgenauigkeit kann nicht durch einen einzigen Bearbeitungsprozess erreicht werden. Dies wird durch die Koordination der Rohstoffbehandlung, der Kontrolle der Produktionsumgebung, des progressiven Schleifens und der Präzisionsprüfung erreicht. Das Toleranzfenster für nanoskalige Präzision ist äußerst eng; Jede Nachlässigkeit im Prozess führt zu unbefriedigenden Ebenheitsindikatoren. Die meisten Steinverarbeitungsbetriebe auf dem Markt verfügen nur über Verarbeitungskapazitäten im Mikrometerbereich und verfügen nicht über die Fähigkeit zur Steuerung der Prozesspräzision. Mit jahrelanger Erfahrung in der Spezialisierung auf kundenspezifische Ultrapräzisions-Granitkomponenten konzentriert sich die UNPARALLELED Group auf die Unterstützung hochwertiger Inspektionsgeräte. Wir haben ausgereifte Komplettlösungen für die Fertigung von Granitplattformen im Nanometerbereich entwickelt und liefern Messgeräteherstellern auf der ganzen Welt langfristig stabile, hochpräzise Referenzebenenlösungen.
Rohstoffe bilden die Voraussetzung für die Erzielung einer hervorragenden Ebenheit. Gewöhnlicher Granit weist eine ungleichmäßige Kornverteilung und winzige natürliche Mikrorisse auf, die bei kontinuierlicher Bearbeitung und langfristiger Nutzung leicht zu lokalen Verformungen führen können. Wir verwenden den selbst-entwickelten schwarzen Granit UNPARALLELED® hoher-Dichte mit dicht und gleichmäßig verteilten Gesteinskörnern. Rohsteine gelangen nicht direkt nach der Eingangskontrolle in die Verarbeitung; Stattdessen wird es einer segmentierten Alterungsbehandlung unterzogen. Bei längerer statischer Lagerung werden natürliche Gesteinsspannungen abgebaut, um eine allmähliche Verformung der Platte nach Abschluss der Bearbeitung zu verhindern und so grundsätzlich eine Verschlechterung der Ebenheit im Laufe der Zeit zu vermeiden. Wir unterscheiden strikt zwischen Granit in Messqualität und Granit in Ingenieurqualität und verwenden niemals kostengünstige Steinmaterialien für die Herstellung hochpräziser Inspektionsplattformen.
Die Schleiftechnologie dient als Kernverfahren zur Erzielung nanoskaliger Ebenheit und markiert die Trennlinie zwischen gewöhnlichen Steinwerkstätten und Ultrapräzisionsherstellern. Herkömmliches Polieren kann lediglich eine Präzision im Mikrometerbereich- erreichen. Um Nanometerstandards zu erreichen, ist ein progressives mehrstufiges Mahlverfahren erforderlich. Die Plattform wird nacheinander grob geschliffen, halbfertig geschliffen, fein geschliffen und abschließend ultrapräzis poliert. Die Körnung von Schleifmitteln verringert sich schrittweise, um subtile Werkzeugspuren zu beseitigen, die bei früheren Prozessen entstanden sind. Alle Endbearbeitungsvorgänge werden in einer staubfreien Werkstatt der Klasse 10.000 mit konstanter-Temperatur und konstanter-Luftfeuchtigkeit durchgeführt. Die Werkstatt ist mit unabhängigen Antivibrationsfundamenten und isolierten Antivibrationsgräben ausgestattet, um Vibrationsstörungen durch externen Verkehr und Produktionsanlagen maximal zu isolieren und stabile Schleifbedingungen zu gewährleisten.
Je größer die Granitplattform ist, desto schwieriger ist es, die Ebenheit zu kontrollieren. Bei großen integrierten Inspektionsplattformen priorisieren wir die monolithische Formungstechnologie, um Höhenunterschiede an Verbindungsstellen zu vermeiden, die durch den Zusammenbau mehrerer Platten entstehen. Gemäß den Kundenzeichnungen wird die strukturelle Bearbeitung einschließlich eingebetteter Gewindehülsen, Verdrahtungsnuten, Positionierungsreferenznuten und Vakuumsauglöchern im Voraus abgeschlossen. Sämtliche Bohr- und Nutarbeiten werden bei der Grobbearbeitung erledigt. Eine nachträgliche Bearbeitung würde zu Spannungsschwankungen führen und die ultrapräzise fertige Ebene beschädigen. Der gesamte Verarbeitungsablauf entspricht den international anerkannten Metrologiestandards DIN und ASME. Plattformen mit ultrahoher Präzision der Klassen 00 und 000 können an die Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Eine umfassende, phasenweise Inspektion durchläuft den gesamten Produktionsablauf der Plattformen, statt nur Stichproben nach der Fertigstellung. Nach jedem Schleifvorgang überprüfen Techniker die Ebenheit erneut mit importierten Hochpräzisionsnivellieren und Laserinterferometern. Alle Prüfgeräte verfügen über gültige Kalibrierzertifikate von Metrologieinstituten mit vollständig rückverfolgbaren Messdaten. Nach der Produktion erfolgt eine abschließende umfassende Prüfung. Das Werkstück wird zur Beobachtung für einen bestimmten Zeitraum stationär bei konstanter Temperatur gehalten. Die Lieferung erfolgt erst, nachdem sichergestellt wurde, dass keine offensichtlichen Verformungen vorliegen. Dadurch wird gewährleistet, dass die gelieferte Granitplattform auch bei langfristigem Betrieb auf Kundenstandorten ihre Ebenheit im Nanometerbereich beibehält.
Als Hersteller von Präzisionskomponenten mit ISO-Dreifach-Managementsystem-Zertifikaten sowie CE- und RoHS-Qualifikationen besitzen wir mehr als 20 international registrierte Patente und Marken. Wir pflegen langfristige Projektkooperationen mit führenden Unternehmen der Halbleiter- und optischen Messbranche sowie ausländischen Universitätslaboren. Neben Granit-Inspektionsplattformen können wir auch passende Präzisions-Z--Achsen-Vertikalplatten aus Granit, L-förmige Stützen, Drehtischbasen, Luftlagerbasen und andere Ersatzteile liefern. Dank unserer geografischen Nähe zum Hafen von Qingdao organisieren wir den Containertransport effizient und verkürzen die Lieferzyklen für Kunden in Übersee.
Messungen im Nanomaßstab können nicht die geringste Abweichung vom Referenzdatum tolerieren. UNPARALLELED hält sich konsequent an strenge Ultra--Präzisionsfertigungsstandards. Unterstützt durch erstklassige Rohstoffe, geschlossene Verarbeitungsabläufe und strenge mehrstufige Inspektionssysteme stellen wir weiterhin hochstabile Granit-Referenzplattformen für die globale Präzisionsinspektionsindustrie her. Wir optimieren kontinuierlich ultrapräzise Verarbeitungstechniken, um allen Arten von High-End-Inspektionsgeräten zu einer stabilen und genauen Messleistung zu verhelfen.