Halbleiterinspektionsplattformen benötigen ultrastabile Basen zur Unterstützung hochauflösender Bildgebung und Fehlererkennung. Als Lieferant von Ultrapräzisionskomponenten bietet UNPARALLELED maßgeschneiderte Granitstrukturen für Halbleiterinspektionsgeräte. Granit bietet zahlreiche entscheidende Vorteile für Wafer- und Panel-Inspektionsarbeitsplätze.
Erstens weist Granit einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf. In Halbleiterwerkstätten kommt es während der laufenden Produktion zu leichten Temperaturschwankungen. Granitsockel minimieren thermisch bedingte Verformungen und verhindern so Positionsabweichungen von Linsen und Sensoren. Eine stabile Basislinie gewährleistet eine gleichbleibende Bildgenauigkeit beim Scannen von Waferdefekten.
Zweitens ist eine hervorragende Vibrationsdämpfung für die Inspektion von entscheidender Bedeutung. Durch mechanische Erschütterungen vor Ort werden optische Bilder unscharf. Granit absorbiert Vibrationen schnell. In Kombination mit Präzisions-Einstellhalterungen und Messgeräten gewährleistet es eine scharfe, wiederholbare Bildaufnahme bei der Langzeit-AOI-Inspektion.
Drittens weist natürlicher Granit nach langfristiger natürlicher Alterung eine vernachlässigbare innere Restspannung auf. Granit-Schlittentische, T-Nutenplatten und Stützrahmen behalten über Jahre hinweg ihre Ebenheit und Geradheit. Langfristiges Präzisionskriechen wird erheblich reduziert, wodurch die Anforderungen an den 24/7-Betrieb von Halbleiterproduktionslinien erfüllt werden.
Darüber hinaus ist Granit korrosionsbeständig gegen Werkstattfeuchtigkeit und chemische Dämpfe. Im Gegensatz zu Metallgussteilen rostet es nicht, was den Aufwand für die routinemäßige Wartung verringert. CNC-vorgefertigte Löcher, Nuten und Montageschnittstellen passen perfekt zu Sensoren und optischen Baugruppen. Eine sekundäre Bearbeitung vor Ort ist selten erforderlich.
Alle unsere Granitteile entsprechen den ISO- und CE-Normen. Prüfwerkzeuge sind auf messtechnische Standards rückführbar. Unsere Granitstrukturen dienen weltweit namhaften Unternehmen zur Panel- und Waferinspektion.
Kurz gesagt: Geringe thermische Verformung, hervorragende Vibrationsabsorption, langfristige Dimensionsstabilität und Korrosionsbeständigkeit machen Granit zu einem idealen Substrat für Halbleiter-Inspektionsplattformen. UNPARALLELED liefert maßgeschneiderte Granitlösungen aus einer Hand auf der Grundlage von Kundenzeichnungen.