1. Hohes Verhältnis von Steifigkeit-zu-Gewicht für Hochgeschwindigkeitsdynamik
Bei der Lithographie und beim Bonden müssen sich Komponenten mit hoher Geschwindigkeit und ohne Verzögerung bewegen. Hochleistungskeramik bietet extreme Steifigkeit (hohes Elastizitätsmodul) und ist gleichzeitig deutlich leichter als Stahl. Dies reduziert die Trägheit und ermöglicht eine schnellere Beschleunigung und Verzögerung, ohne die Positionierungsgenauigkeit in Wafer-Handhabungssystemen zu beeinträchtigen.
2. Unübertroffene Wärmeleitfähigkeit und Stabilität
Halbleiterprozesse erzeugen örtlich begrenzte Wärme. Materialien wie Siliziumkarbid bieten eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und leiten die Wärme schnell ab, um lokale Verformungen zu verhindern. Dadurch wird sichergestellt, dass die Keramik-Vakuumspannfutter und Wafertische perfekt flach bleiben und die Brennebene bei kritischen UV-Belichtungsschritten erhalten bleibt.
3. Verschleißfestigkeit und chemische Trägheit
Keramik ist fast so hart wie Diamanten. Diese Verschleißfestigkeit sorgt dafür, dass bewegliche Teile eine unglaublich lange Lebensdauer haben, ohne dass Partikel entstehen. Darüber hinaus sind sie aufgrund ihrer chemischen Trägheit kompatibel mit aggressiven Ätzgasen und Reinigungsmitteln, die bei der Halbleiterverarbeitung im Front-{2}}-Bereich verwendet werden.
Vergleich von Keramikmaterialien
| Eigentum | Aluminiumoxid (Al2O3) | Siliziumkarbid (SiC) |
| Vickershärte | 1500 HV | 2500+ HV |
| Elastizitätsmodul | 350 GPa | 450 GPa |
| Wärmeleit. | 30 W/m·K | 150+ W/m·K |
FAQ: Wichtige Fragen beantwortet
Warum SiC anstelle von Aluminiumoxid verwenden? SiC hat eine höhere Steifigkeit und eine bessere Wärmeleitfähigkeit, ist jedoch teurer.
Sind Keramikteile zerbrechlich? Obwohl sie spröde sind, verfügen sie über eine enorme Druckfestigkeit, was sie ideal für Präzisionslasten macht.
In welchen Branchen werden diese Keramiken verwendet? Hauptsächlich in der Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt- und Laserschneidindustrie.
Können Sie individuelle Keramikformen herstellen? Ja, wir bieten kundenspezifische OEM-Keramikbearbeitung für komplexe mechanische Komponenten an.
Was ist die maximale Größe? Durch segmentiertes Kleben können wir großformatige Keramikstrukturteile bis zu 1000 mm oder mehr herstellen.
Benötigt Keramik eine besondere Reinigung? Sie zeichnen sich durch eine hohe Chemikalienbeständigkeit aus und sind daher für den Einsatz in Reinräumen sehr leicht zu reinigen.